刻蚀上下料机
产品优势
更高产能可达到8000pcs/h
可根据客户需求选配在线隐裂检测
特制精密陶瓷吸盘，减少硅片划伤
相关描述
技术参数 | |
|---|---|
| 技术参数 | 相关参数 |
| 产能 | 4000/6500/8000 pcs/h |
| 硅片列数 | 5/8/10 |
| 硅片尺寸 | 166mm-210mm |
| 适用花篮 | 100 cassette |
| 碎片率 | ≤0.03% |
| 开机率 | ≥98% |
| 耗气量 | 200L/min |
| 具体参数如有变动，本公司不另行通知！ | |
