扩散/氧化/退火上下料机
产品优势
最高产能可达到16000pcs/h
可根据客户需求进行配置
特制精密陶瓷吸盘,陶瓷顶齿，陶瓷侧齿，减少硅片划伤，保证设备的稳定性
相关描述
技术参数 | |
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| 技术参数 | 相关参数 |
| 产能 | 8000/11000/16000 pcs/h |
| 石英舟规格 | 1000/1200/1600槽 ，节距2.38mm |
| 硅片尺寸 | 166mm-210mm |
| 适用花篮 | 100 cassette |
| 碎片率 | ≤0.03% |
| 开机率 | ≥98% |
| 耗气量 | 1000L/min |
| 具体参数如有变动，本公司不另行通知！ | |
