板式PECVD上下料机
产品优势
最高产能可达到6000pcs/h
可根据客户需求进行定制
设备结构简单稳定
相关描述
技术参数 | |
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| 技术参数 | 相关参数 |
| 产速 | 4000 /6000 pcs/h(可订制) |
| 碳框尺寸 | 10*10（5*5，5*6，8*10,9*10 可选） |
| 硅片尺寸 | 166mm-210mm |
| 碎片率 | ≤0.02% |
| 开机率 | ≥98% |
| 功率 | 15kW |
| 耗气量 | 500L/min |
| 具体参数如有变动，本公司不另行通知！ | |
